解析电涡流传感器探头线圈的结构设计

电涡传播感器是基于涡流互感效应，可实现被测工具内部缺陷与微量位移的高精度检测的传感装备，因具有非打仗丈量、频响宽、抗滋扰才能强等明显上风，普遍利用于装备无损检测、在线状况监测等紧张范畴。然而，随同当今检测范畴的赓续拓展与检测要求的急剧晋升，惯例电涡流检测技术不实用于微小缺陷检测。近几年寄托微机电体系（MEMS）和柔性制作工艺，可以制作出布局情势机动多样的电涡传播感器探头，可以或许实现电涡传播感器探头的小型化、阵列化和柔性化，具有高敏锐度、高信噪比、相应快速等特色。阵列探头已成为当前涡流检测技术研讨的一个难点和热门。

在涡流检测中，阵列探头的机能决议涡流检测成果，阵列探头的电参数直接影响涡流检测的线性度和敏锐度等参数。传统涡传播感器探头，多采纳绕线法制造，有着丰硕的履历公式。为实现更高的检测精度，缩小阵列探头线圈单位尺寸，常使用平面螺旋线圈。然则平面线圈电感较低，只有在较高的事情频率能力到达抱负的品德因数Q值，为了得到更好的机能，采纳双层平面螺旋线圈互联络构，然则此布局缺少电参数履历计算公式。本文采纳解析法，对双层平面螺旋线圈的电感、电阻、品德因数等电参数进行计算，有用缩短了数值计算光阴，可以进步电涡传播感器探头设计的效力，对付电涡传播感器探头线圈布局的设计具有紧张的指示意义。