金融界2024年5月10日新闻,据国度常识产权局通知布告,长鑫存储技术有限公司取得一项名为“半导体炉管机台加热器“,授权通知布告号CN109951906B,申请日期为2018年4月。
专利择要显示,本创造主要公开了一种半导体炉管机台加热器,包含加热器外框及多组电阻丝元件,加热器外框具有顶部、底部及位于顶部和底部间的侧部,侧部形成有组件固定区及降温气体流通区,多组电阻丝元件安装于组件固定区中,降温气体流通区位于侧部和组件固定区之间,每一组的电阻丝元件安装在侧部的雷同高度,分歧组之间的电阻丝元件以等距环状疏散、交织插排及轮回方式竖直自力分列在所述侧部的分歧高度,每个电阻丝元件可零丁安装或拆卸。本创造用以转变传统半导体炉管机台加热器产生故障时,必要整体调换加热器而加热器体积过年夜拆装未便、本钱较高的近况。
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